單腔立式甩干機-華林科納CSE
華林科納（江蘇）CSE-單腔立式甩干機系統(tǒng)應用于各種清洗和干燥工藝
設備名稱 | 華林科納（江蘇）CSE-單腔立式甩干機 |
優(yōu)??? 點 | ?清洗系統(tǒng)應用于各種清洗和干燥工藝 > 不同配置（可放置臺面操作的設備、單臺獨立、雙腔） > 適用于晶圓尺寸至200mm > 最佳的占地，設備帶有滾輪可移動 > 優(yōu)越的可靠性 > 獨特的模塊化結構 > 極其便于維修 > 易于使用和操作 |
一般特征 | ?適用于晶圓直徑至200mm > 25片晶圓單盒工藝 > 標準的高邊和低邊花籃 > 可選內置電阻率檢測傳感器來控制晶圓的清洗工藝 > 用冷或熱的N2輔助晶圓干燥 > 離心頭容易更換 ? 圖形化的界面： > 基于PLC的彩色5.7“的觸摸屏 > 可以編輯10多個菜單，每個菜單可有10步 > 多等級用戶密 ? ?去靜電裝置安裝于工藝腔室區(qū) > 去離子水回收 > 電阻率監(jiān)測裝置 > 機械手自動加載 > 可放置臺面操作的設備、單臺獨立、雙腔 > SECS/GEM > 去離子水加熱系統(tǒng) > 底座置放不銹鋼滾輪 > 溶劑滅火裝置 > 適用特殊設計的花籃 |
設備制造商 | 華林科納（江蘇）半導體設備有限公司 www.staroverink.com?0513-87733829； |
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