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枚葉式清洗機-華林科納CSE
華林科納（江蘇）半導(dǎo)體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長：
單片式清洗裝置的優(yōu)點（與浸漬.槽式比較）
1.晶片表面的微粒數(shù)非常少（到25nm可對應(yīng)）
例：附著粒子數(shù)…10個/W以下（0.08UM以上粒子）
（參考）槽式200個/W
2.藥液純水的消費量少
藥液…（例）1%DHF的情況? 20L/日
純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分
3.小裝置size（根據(jù)每個客戶可以定制）
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液體濺射（塵埃強制除去）?
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（推薦)清洗方法
單片式裝置的Particle再附著問題
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更多的半導(dǎo)體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設(shè)備相關(guān)信息可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)（www.hlkncas.com），現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096；18913575037可立即獲取免費的半導(dǎo)體清洗解決方案。?
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