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1.設(shè)備概況
l 名稱：RCA濕法腐蝕清洗機(jī)?
l 機(jī)臺(tái)尺寸?:1900mmWx1400mmDx2000mmH
l 清洗能力：2--6寸圓片，25片/籃
2.主體構(gòu)造特點(diǎn)
l 規(guī)范：本設(shè)備的設(shè)計(jì)、選購、制造、檢驗(yàn)和測試均按照相關(guān)國家、半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（SEMI-S2-93）執(zhí)行，ISO9001質(zhì)量管理體系進(jìn)行規(guī)范和保證，但合同中或技術(shù)文件中另有規(guī)定的除外。外購配件執(zhí)行相應(yīng)的國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范及企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)；
l 設(shè)備包括：設(shè)備主體、電氣控制部分、化學(xué)工藝槽、純水清洗槽等；并提供與廠務(wù)供電、供氣、供水、排廢水、排氣系統(tǒng)配套的接口等。
l 主體：設(shè)備為半敞開式，主體使用進(jìn)口WPP15和10mm厚板材，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)充分考慮長期工作在酸腐蝕環(huán)境，堅(jiān)固耐用，雙層防漏，機(jī)臺(tái)底盤采用德國產(chǎn)瓷白PP板，熱焊接而成，可長期工作在酸堿腐蝕環(huán)境中；
l 骨?架：鋼骨架+PP德國勞施領(lǐng)板組合而成，防止外殼銹蝕。
l 臺(tái)面：高度為850mm；
l 儲(chǔ)物區(qū)：位于工作臺(tái)面左側(cè)，約280mm寬，儲(chǔ)物區(qū)地板有漏液孔和底部支撐；
l 安全門：前側(cè)下開透明安全門，腳踏控制；
l 工藝槽：模組化設(shè)計(jì)，腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個(gè)統(tǒng)一的承漏底盤中。底盤采用滿焊接工藝加工而成，杜絕機(jī)臺(tái)的滲漏危險(xiǎn)；
l 管路系統(tǒng)：位于設(shè)備下部，所有工藝槽、管路、閥門部分均有清晰的標(biāo)簽注明；藥液管路采用PFA管，純水管路采用白色NPP噴淋管，化學(xué)腐蝕槽廢液、沖洗廢水通過專用管道排放；
l 電氣保護(hù)：電器控制、氣路控制和工藝槽控制部份在機(jī)臺(tái)頂部電控區(qū)，電氣元件有充分的防護(hù)以免酸霧腐蝕以保障設(shè)備性能運(yùn)行穩(wěn)定可靠；所有可能與酸霧接觸的電氣及線路均經(jīng)PFA防腐隔絕處理，電氣柜CDA/N2充氣保護(hù)其中的電器控制元件；
l 排?風(fēng)：后部排風(fēng)和下沉式設(shè)計(jì)，風(fēng)量可調(diào)節(jié)，對(duì)操作員有安全保護(hù)；
l 送風(fēng)：設(shè)備頂部有FFU百級(jí)凈化送風(fēng)裝置，設(shè)備沿前側(cè)板鑲嵌入墻體，保證后上部送風(fēng)；
l 照明：工作區(qū)頂部配有雙光日光燈照明；
l 水汽槍：機(jī)臺(tái)前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮?dú)鈽尭?/span>1只置于右側(cè)，方便操作員手工清洗槽體或工件；
l 機(jī)臺(tái)支腳：有滑輪裝置及固定裝置，并且有高低調(diào)整及鎖定功能。
l 安全保障：完善的報(bào)警和保護(hù)設(shè)計(jì)，排風(fēng)壓力、液位、排液均有硬件或軟件互鎖，直觀的操作界面，清晰的信息提示，保障了生產(chǎn)、工藝控制和安全性三色警示燈置于機(jī)臺(tái)上方明顯處。
3.控制系統(tǒng)
l PLC可程式控制器（歐姆龍）＋PROFACE 彩色人機(jī)界面操作。
l 模塊化軟件、硬件設(shè)計(jì)，減少故障幾率，便于安裝和維護(hù)；
l 空氣開關(guān)、斷路器、電磁閥、按鈕、氮?dú)庹{(diào)壓閥，針閥、三色警燈等均采用SMC、施耐德、和泉、松下、正泰等電氣產(chǎn)品，安全可靠；
l 配備漏電斷路保護(hù)、隔離變壓器、漏液檢測、EMO開關(guān)等安全保護(hù)裝置；
l 所有程序參數(shù)可修改，操作模式可分為自動(dòng)/手動(dòng)，加液和花籃傳遞為手動(dòng)；
l 電路區(qū)功能分塊，強(qiáng)電、弱電塊，便于維護(hù)；
l 電氣控制部分均有清晰的標(biāo)簽注明
l 具密碼保護(hù)功能以避免操作人員誤改參數(shù)：
Password-1.啟動(dòng)及可進(jìn)入自動(dòng)模式內(nèi)容。
Password-2可進(jìn)入手動(dòng)模式。
Password-3可進(jìn)入編輯模式修改制程參數(shù)。
4.安全保護(hù)
l 設(shè)備采用耐腐蝕導(dǎo)線并采用氟套管進(jìn)行保護(hù)，防腐防水；
l 設(shè)有防漏電斷路保護(hù)裝置；
l 電控部分正壓空體保護(hù)，防水防腐；
l 配有漏電流斷路保護(hù)裝置以及過溫過載保護(hù)裝置。
l 設(shè)備有可靠的接地裝置及緊急關(guān)機(jī)和報(bào)警系統(tǒng)；
l EMO緊急開關(guān)位于機(jī)臺(tái)上方明顯處。
l 蜂鳴器聲鳴提示工作完成，三色報(bào)警燈及蜂鳴聲光故障報(bào)警；
l 機(jī)臺(tái)底部設(shè)有防漏盤及漏液感知；
l 液位異常感知/安全液位保護(hù)；
l 配有加熱保護(hù)，防干燒；
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