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顯影清洗機CSE-華林科納（江蘇）
微機電系統(tǒng)（MEMS)是指用微機械加工技術制作的包括傳感器/微致動器/微能源/等微機械基本部分以及高性能的電子集成線路組成的微機電器件與裝置。
其典型的生產(chǎn)工藝流程為：成膜工藝（氧化/CVD:LPCVD PECVD/PVD:濺射/電鍍/摻雜：擴散 注入 退火）→光刻圖形（旋涂/光刻/顯影）→干法/濕法/ 刻蝕（濕法刻蝕/硅刻蝕/SiO?刻蝕/去膠清洗/金屬刻蝕/金屬剝離/RCA清洗）
設備概述
設備名稱：顯影清洗機
整機尺寸：約1000mm(L) ×1260mm(W) ×1900mm(H)（具體尺寸根據(jù)實際圖紙確定）
主體構造特點
設備包括 | 設備主體、電氣控制部分、顯影清洗槽等；并提供與廠務供電、供氣、供水、排廢水、排氣系統(tǒng)配套的接口等 |
主體 | 設備主體使用德國勞士林10mm瓷白PP |
骨架 | SUS304+PP德國勞士領板組合而成 |
安全門 | 設備安裝高透明PVC上下推拉安全門，分隔與保護人員安全；邊緣處設備密封條 |
臺面 | 高度約900mm，適合高于1.5米人群操作 |
工藝槽 | 模組化設計，放置在同一個承漏底盤中。底盤采用滿焊接工藝加工而成，杜絕機臺的滲漏危險。 |
管路系統(tǒng) | 位于設備下部，所有工藝槽、管路、閥門部分均有清晰的標簽注明；藥液管路采用勞士林PP管，純水管路采用積水CL-PVC管，廢液可通過專用管道排放 |
電氣保護 | 電器控制、氣路控制和工藝槽控制部份在機臺頂部電控區(qū)，電氣元件有充分的防護以免腐蝕以保障設備性能運行穩(wěn)定可靠。 |
工作照明 | 上方防酸型照明220V 40W 可更換 |
水氣槍 | 機臺前部配備有PP純水槍和PP CDA槍各一只置左右兩側，水槍滴漏活水設計，方便操作員手工清洗槽體或工件 |
機臺支腳 | 有滑輪裝置及固定裝置并加防腐座，并且有高低調整及鎖定功能 |
安全保障 | 完善的報警和保護設計，排風壓力、液位、排液均有硬件或軟件互鎖，直觀的操作界面，清晰的信息提示，保障了生產(chǎn)、工藝控制和安全性三色警示燈置于機臺上方明顯處 |
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