硬質(zhì)/超硬質(zhì)涂層用真空鍍膜機(jī)

晶茂該系列的設(shè)備著力于超硬質(zhì)薄膜的制備，適用于模具，工具，刀具等行業(yè)，使表面獲得更耐磨，更防腐蝕性的膜層，提高使用壽命

刀具硬質(zhì)涂層真空鍍膜設(shè)備

晶茂真空提供先進(jìn)的PVD,PACVD等刀具涂層的廣泛產(chǎn)品組合技術(shù)設(shè)備，用于適應(yīng)各種加工要求和工件材料的高速鋼和硬質(zhì)合金工具

刀具超硬膜離子鍍膜設(shè)備

晶茂該設(shè)備在工具，刀具上鍍硬質(zhì)或超硬保護(hù)膜而設(shè)備，可鍍制TiN. TiC TiCN TiAIN TiAICN TiCrN  TiCrCN  TiAICrN多層超硬膜等

滾齒刀涂層設(shè)備

晶茂此設(shè)備的涂層可延長刀具的使用壽命，提高生產(chǎn)效率，從而達(dá)到降低齒輪加工的單位在本

銑刀，拉刀，鉆頭真空鍍膜設(shè)備

晶茂真空鍍膜設(shè)備是針對銑刀，拉刀，鉆頭等工具的硬質(zhì)薄膜研發(fā)，工具的設(shè)計(jì)能.大限度提高每爐的產(chǎn)品數(shù)量，轉(zhuǎn)架采用下傳動結(jié)構(gòu)，數(shù)字調(diào)節(jié)漸起漸停，變頻調(diào)速，雙級行星式旋轉(zhuǎn)架系統(tǒng)，適合于對小體積工件進(jìn)行加工

切削工具真空鍍膜設(shè)備

晶茂切削工具真空鍍膜設(shè)備涂層會為您提供高性能的工具，這些工具可始終滿足現(xiàn)在制造工業(yè)日益增長的需求

模具超硬膜離子鍍膜設(shè)備

晶茂此設(shè)備是為模具鍍硬質(zhì)或超硬保護(hù)膜而設(shè)計(jì)的，真空鍍室的真空密封和室內(nèi)運(yùn)動部件的設(shè)計(jì)和用材充分考慮可承受的高溫，可鍍制TiN. TiC TiCN TiAIN TiAICN TiCrN  TiCrCN  TiAICrN多層超硬膜等

沖壓件真空鍍膜設(shè)備

工具經(jīng)沖壓件真空鍍膜設(shè)備硬質(zhì)涂層處理后，其性能更穩(wěn)定，可出穩(wěn)定的高質(zhì)量的工件，使用壽命更長，非常堅(jiān)硬，可防止功能性表面，刀刃和拉伸半徑受到磨損，這可顯著延長工具的使用壽命，讓制造成本變的更低，使用壽命的延長和行程率的提高在提高生產(chǎn)率的同時降低了單位成本，而且潤滑液用量也減少

冷成型模真空鍍膜設(shè)備

高強(qiáng)度材料成形，冷成型模真空鍍膜設(shè)備高強(qiáng)度金屬成型中存在的高成型壓力和產(chǎn)生的摩擦成為工模具和涂層中面對的重要挑戰(zhàn)，PVD和CVD涂層展示的韌性，耐磨性和抗磨損性能明顯提高工具的生產(chǎn)能力

熱成型模真空鍍膜設(shè)備

高強(qiáng)度材料熱沖壓，熱成型模真空鍍膜設(shè)備高強(qiáng)度合金鋼的熱沖壓和熱成形是金屬成形領(lǐng)域中一種發(fā)展.快的趨勢，在這些領(lǐng)域中所使用工具的磨損主要為磨粒磨損和粘著磨損，并且需要經(jīng)歷要求嚴(yán)苛的熱環(huán)境條件，晶茂HC物理氣相沉積涂層展現(xiàn)了其高韌性，耐磨性及抗擦傷性，而這些性能恰恰能夠明顯地提高工具的使用壽命

注塑成型真空鍍膜設(shè)備

HC物理氣相沉積（PVD）涂層與離子加強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PACVD）涂層具有抽高工具使用效率的高韌性，耐磨性，抗腐蝕性以及低摩擦特性，有效防止注塑過程中所使用的工具造成物流性損傷

鏡面塑膠模具真空鍍膜設(shè)備

使用晶茂配制的真空設(shè)備所鍍制出的膜層能更好的保證模具的鏡面鏟果，并能讓使用時間提高到半年到一年以上，有效降低了生產(chǎn)成本

模塑硬質(zhì)涂層設(shè)備

硬質(zhì)涂層它的主要功能就是提高其產(chǎn)品的竟?fàn)幜Γ档痛水a(chǎn)品的制造成本，使填模效日本人更好，有效降低脫模力，提高耐磨性，使注模產(chǎn)品質(zhì)量更佳，易于清潔

拉模鑄造真空鍍膜設(shè)備

晶茂生產(chǎn)的這款設(shè)備它的主要功能是讓產(chǎn)品的涂層硬度高以及卓越的熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性會提高收益率及生產(chǎn)率，即使在要求比較嚴(yán)苛的使用條件下也是一樣，并且讓制造成本更低，HCVAC®可防止型芯，模具襯墊和型腔受到磨損和腐蝕

注塑成型真空鍍膜機(jī)

注塑成型機(jī)器的華移件（例如，噴射器，推進(jìn)器或螺紋芯）可通過該鍍膜機(jī)械設(shè)備有效地用此鍍膜機(jī)鍍制膜層防止磨損和刮傷。

食品加工機(jī)械涂層設(shè)備

食品加工機(jī)械采用的元件大部分由相對較軟的不銹鋼制造，通過該設(shè)備處理的測量活塞，導(dǎo)軌和軸承可有效地防止磨損和刮傷，防止腐蝕，確保通常所需的潤滑操作

紡織機(jī)器涂層設(shè)備

此設(shè)備制備的涂層兼具高硬度與光滑表面兩種優(yōu)點(diǎn)，使其為諸如織布機(jī)的紡織鉗，導(dǎo)紗器，夾鉗和切削刃等這類元件提供了理想的磨損保護(hù)

機(jī)械工具真空鍍膜設(shè)備

為機(jī)械工具元件（例如，變速箱，夾緊系統(tǒng)，螺紋軸，導(dǎo)軌和盤形凹輪）保證精度并起到適合的磨損保護(hù)作用

齒輪傳動真空鍍膜機(jī)

當(dāng)表面硬化鋼都達(dá)到其負(fù)荷容量的限制時，碳涂層卻能為獲取性能更高的系統(tǒng)鋪平通路，甚至在要求嚴(yán)格條件下（列如在賽車運(yùn)動中），帶有涂層的齒輪傳動元件不但扔能運(yùn)轉(zhuǎn)更可靠，而且其性能也更進(jìn)了一步

滑動軸承傳動鍍膜設(shè)備

滑動軸承傳動鍍膜機(jī)的碳涂層在表面壓力超過2.500N/mm2的情況下能夠耐受1000萬次符合循環(huán)，因而可有效地防止表面徒勞

機(jī)械/工業(yè)零部件涂層設(shè)備

HC系列機(jī)械/工業(yè)零部件真空鍍膜機(jī)提供PVD,CVD和PACVD工藝的多種耐磨損和低摩擦層供使用在嚴(yán)峻的應(yīng)用環(huán)境下機(jī)械零部件選擇

壓縮機(jī)螺桿真空鍍膜設(shè)備

可以保護(hù)機(jī)械設(shè)備的高應(yīng)力液壓元件免受磨損，附著，腐蝕，氣蝕和變形。在高壓，高流速和高轉(zhuǎn)速的情況下，使用低可燃，基于水的液體介質(zhì)時（HFA. HFC）,潤滑不良時，吸入研磨性介質(zhì)時扔確?？煽康倪\(yùn)行

汽車發(fā)動機(jī)部件涂層設(shè)備

晶茂碳基的汽車發(fā)動機(jī)部件涂層設(shè)備DLC涂層應(yīng)用于閥六和曲軸區(qū)域零部件，可減少高達(dá)40%的潤滑操作中的摩擦損失，..的感潤滑性能也彌補(bǔ)了減少的潤滑劑，直到油膜達(dá)到滿負(fù)荷并允許在沒有磨損情況下頻繁啟停

機(jī)械/賽車涂層鍍膜設(shè)備

采用晶茂真空鍍膜設(shè)備涂層可將性能發(fā)揮到極限，F(xiàn)1賽車，Nascar賽車，MotoGP賽車，WRC賽車，OSS賽艇等，在這些塞車運(yùn)動中，每一盎司的重量都經(jīng)過精打細(xì)算，輕型現(xiàn)代材料的利用具有限制性，同時還減少摩擦損失，HC涂層滿足上述要求

汽車涂層真空鍍膜設(shè)備

專為摩擦性能高負(fù)荷系統(tǒng)設(shè)計(jì)，低摩擦性能涂層的應(yīng)用，為發(fā)動機(jī)內(nèi)外開啟了新視角和技術(shù)解決方案，提高了系統(tǒng)效率和部件使用壽命，經(jīng)過強(qiáng)化的摩擦性能不僅能防止零件磨損，還能在運(yùn)行時對相對件進(jìn)行拋光和保護(hù)

發(fā)動機(jī)氣門真空鍍膜設(shè)備

發(fā)動機(jī)鍍膜機(jī)所制備的硬質(zhì)涂層對發(fā)動機(jī)的可靠性和有效性做出了相當(dāng)大的貢獻(xiàn)，并將傳動系統(tǒng)的革新由構(gòu)想變?yōu)閷?shí)現(xiàn)，減少了燃料消耗和污染排放，提高了性能的驅(qū)動能力

醫(yī)療涂層真空鍍膜設(shè)備

添加硬質(zhì)涂層，能阻止刮傷并確保故障運(yùn)行，即使在不潤滑的情況下也是如此，可防止器械在消毒時受到腐蝕，對了眼科手術(shù)所有的器械，通過鍍膜與未鍍膜的器械相比具有明顯的區(qū)別晶茂一致力于應(yīng)應(yīng)醫(yī)用產(chǎn)品的應(yīng)用具有生物相容性的PVD,CVD,PACVD,陶瓷，類似金剛石碳和金屬薄膜涂層的開發(fā)和生產(chǎn)，晶茂真空鍍膜設(shè)備能有效提高產(chǎn)品的高硬度，良好的結(jié)合力，高斷裂韌性，低摩擦特性，且和現(xiàn)各種賞心悅目的顏色

DLC涂層真空鍍膜設(shè)備

制備的DLC涂層（類金剛石涂層）具備質(zhì)量穩(wěn)定，與基體結(jié)合力好，耐磨性好，摩擦系數(shù)低，耐腐蝕性好等綜合優(yōu)良性能

PACVD硬質(zhì)涂層系統(tǒng)

專門針對在廣泛的基材上進(jìn)行功能性和裝飾性類金剛石（DLC）涂層的沉積而設(shè)計(jì)的工業(yè)涂層系統(tǒng)，PVD濺射和PACVD工藝相強(qiáng)合，可以拓寬DLC的應(yīng)用范圍，根據(jù)客戶的應(yīng)用要求量身定做涂層類型

空心陰極離子鍍膜設(shè)備

空心陰極離子鍍的等離子體濃度大，離化率高，所沉積膜層結(jié)合強(qiáng)好，組織細(xì)密光亮，顏色鮮艷，特別適用于工模具鍍硬質(zhì)膜，也可用于五金裝飾鍍膜，可鍍TiN.  TiCN  ,TiC等

五金裝飾涂層真空鍍膜設(shè)備

此設(shè)備專為五金行業(yè)各特困戶品的表面處理提供高性能真空鍍膜設(shè)備，鍍膜后的產(chǎn)品能夠展現(xiàn)出雍容華貴，光彩奪目等各種各樣的美麗效果，并且膜層耐磨損不褪色

中頻磁控濺射鍍膜設(shè)備

中頻磁控濺射技術(shù)民漸成為濺射鍍膜的主流技術(shù)，它優(yōu)于直流磁控濺射鍍膜，主要特點(diǎn)是克服了陽極消失現(xiàn)象，減弱或消除靶的異常弧光放電，因此提高了濺射過程的工藝穩(wěn)定性，提高了介質(zhì)膜的沉積和速率好幾倍，新研發(fā)的平面靶，圓柱靶，孿生靶，對靶等多種形式的中頻濺射靶結(jié)構(gòu)和布局，該類設(shè)備廣泛用于表殼，表帶，手機(jī)殼，高爾夫球具，五金，餐具，等鍍TiN ,TiN,TICN,TiAIN,CrN等各種裝飾鍍層

五金首飾真空鍍膜設(shè)備

晶茂此設(shè)備集成了直流磁控濺射，中頻濺射和電弧離子蒸發(fā)技術(shù)，結(jié)合線性電離源和脈沖偏壓涂層薄的沉積顆粒，各種膜性能的改善，能大衣合金薄膜，復(fù)合膜，多層復(fù)合膜的金屬表面上以及非金屬

磁控濺射（EMI）專用鍍膜設(shè)備

晶茂此鍍膜設(shè)備用于手提電腦，手機(jī)殼，電話，無線通訊，視聽電子，遙控器，導(dǎo)航和醫(yī)用工具等PLC人機(jī)界面自動控制系統(tǒng)，

磁控濺射/真空蒸發(fā)復(fù)合型鍍膜設(shè)備

晶茂此鍍膜設(shè)備將磁控濺射技術(shù)和真空蒸發(fā)技術(shù)結(jié)合在同一鍍膜設(shè)備里，即利用磁控濺射陰極輝光放電將靶材原子濺出并部分離化沉積在基材上成膜，同時又可利用在真空中以電阻加熱將金屬鍍料熔融并讓其氣化在沉積在基材上成膜

高真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備

真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，是在真空室中利用電阻加熱，將金屬鍍料熔融，氣化，讓金屬分子沉積在基片上，獲得光滑的高反射率的金屬膜層，達(dá)到裝飾美化物品表面的目的

小型實(shí)驗(yàn)真空鍍膜設(shè)備

小型實(shí)驗(yàn)真空鍍膜機(jī)適用于任何底色的塑料，陶瓷，樹脂工藝品，玻璃等經(jīng)真空鍍膜后皆可鍍成金，銀，針尖七彩，紅，紫，藍(lán)，灰，黑等多種鮮艷顏色，具有提高產(chǎn)品檔次，外觀更顯華貴作用，采用電阻熱蒸發(fā)方式進(jìn)行鍍膜，功能齊全，適應(yīng)性強(qiáng)的特點(diǎn)，可以采用電阻蒸發(fā)鍍，電弧鍍或磁控濺射鍍

臥式蒸發(fā)鍍膜設(shè)備

此真空鍍膜機(jī)結(jié)構(gòu)合理，膜層均勻，成膜質(zhì)量好，抽速大，工作周期短，生產(chǎn)效率高，操作方便，能耗低性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)，廣泛用于汽車，音響，各類小家電，電腦，玩具，手機(jī)，反光環(huán)，化妝品，玩具等行業(yè)鍍制效果有亮面，啞面（半啞，全啞），工藝電鍍皺紋，拉絲，雨滴，七彩等

燈具專用鍍膜設(shè)備

此晶茂真空鍍膜設(shè)備主要功能是，高壓離子轟擊，在真空室內(nèi)一次完成鍍鋁和加鍍超硬保護(hù)膜（SIO）超理保護(hù)膜提高了鋁層的抗氮化能力和保持鋁層長久的高反射率。

不導(dǎo)電（NCVM）鍍膜設(shè)備

此真空鍍膜機(jī)廣泛用于，手機(jī)外殼，手機(jī)按鍵，電腦，數(shù)碼，電子通信等表面鍍制不層電膜（NCVM）

雙門真空鍍膜機(jī)

通過電阻絲蒸發(fā)的方式對玻璃進(jìn)行鍍膜，具有鍍膜質(zhì)量好，生產(chǎn)效率高，自動化程鍍高等優(yōu)點(diǎn)，

七彩真空鍍膜設(shè)備

七彩真空鍍膜機(jī)主要廣泛應(yīng)用于汽車，音響，各類小家電，電腦，釧表，手機(jī)，反光環(huán)，化妝品，玩具等行業(yè)，加工的材料包括：ABS,PS  ,PP, PVC,, TPU,尼龍，玻璃，陶瓷，金屬等

五金裝飾膜多弧離子鍍膜設(shè)備

此真空鍍膜機(jī)是一咱高效，無污染的離子鍍膜設(shè)備，具有沉積速度快，離化率高，離子能量大，設(shè)備操作簡單，成本低，生產(chǎn)量大優(yōu)點(diǎn)，它不僅能在金屬制品表面進(jìn)行鍍膜而且能在非金屬制品上進(jìn)行鍍膜，可以鍍金屬膜，氮化鈦，碳化鈦，氮化鋯，氮化鉻及鎳，鉻，銅等化合物膜，多層超硬膜，多元化合物膜，還可以鍍氮化鈦摻金膜等，

大型板材管材真空鍍膜設(shè)備

此真空鍍膜設(shè)備的真空室中，利用氣體放電或被蒸發(fā)物質(zhì)部份離化，在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)粒子轟擊作用的同時，將蒸發(fā)物或反應(yīng)物沉積在基片上，明顯改進(jìn)了膜質(zhì)量，而且還擴(kuò)大了薄膜的應(yīng)用范圍，薄膜附著力強(qiáng)，繞射性好，膜材廣泛，可鍍制不銹鋼，鉻，鈦，鎢，等多種金屬膜，也可鍍制合金膜或化合物，如TiN/TiAIN/CrN膜等,適合于在不銹鋼板,不銹鋼管,不銹鋼門等工件表面鍍膜

瓷磚真空鍍膜設(shè)備

經(jīng)瓷磚真空鍍膜設(shè)備加工后的瓷磚更具有光澤,耐磨指數(shù)大大提高,可以生產(chǎn)仿金色,玫瑰金色,銀白色,黑色等膜層

臥式大型不銹鋼鍍膜設(shè)備

此真空鍍膜機(jī)廣泛用于建筑五金裝飾,家具,燈具,賓館用具,汽車,航空等產(chǎn)品,設(shè)備性能各項(xiàng)指標(biāo)均達(dá)到國際先進(jìn)水平,設(shè)備出口到歐美可鍍金色,銀色,槍色,黑色,玫瑰金色,七彩,藍(lán)色等裝飾膜

不銹鋼板鈦金爐

此真空鍍膜設(shè)備廣泛用于建筑五金裝飾,家具,燈具,賓館用具,汽車,航空等產(chǎn)品,可鍍金色,銀色,槍色,黑色,玫瑰金色,七彩,藍(lán)色等裝飾膜

玫瑰金板專用真空鍍膜機(jī)

該設(shè)備離子鍍膜層有真實(shí)的金屬質(zhì)感,可以實(shí)現(xiàn)電腦全自動控制,自動/手動隨時切換,運(yùn)行性能可靠穩(wěn)定,可鍍金色,銀色,槍色,黑色,玫瑰金金,咖啡色,七彩,藍(lán)色等裝飾膜

不銹鋼黑鈦真空鍍膜機(jī)

此真空鍍膜機(jī)配三套大抽力真空機(jī)組抽速快,工作周七短,靶位合理布局,配脈沖偏壓系統(tǒng),膜結(jié)合力好,彩色均勻, ,可鍍金色,銀色,槍色,黑色,玫瑰金色,七彩,藍(lán)色等裝飾膜

高端不銹鋼飾板離子鍍膜設(shè)備

此真空鍍膜設(shè)備主要優(yōu)點(diǎn)是安全,環(huán)保,工藝穩(wěn)定,膜層顏色豐富,色澤均勻,耐磨損,抗腐蝕,耐高溫,附著力好且不易褪色,廣泛用于不銹鋼板,不銹鋼管材(.長6米)不銹鋼展架,不銹鋼LOGO標(biāo)牌,鎖具,拉手,五金衛(wèi)浴,不銹鋼餐具等不銹鋼制品及塑料電鍍件,陶瓷等表面鍍膜工藝

臥式不銹鋼管材鍍膜設(shè)備

臥式不銹鋼管材鍍膜設(shè)備安全,環(huán)保,工藝穩(wěn)定,膜層顏色豐富,色法均勻,耐磨損,抗腐蝕,耐高溫,附著力好且不褪色,采用掛鍍方式,長度一般是1.0-6.0米?？慑冾伾锈伣鹕?，香檳金，淡青銅，日本金，鋯金，玫瑰金，玫瑰紅，古銅，紅銅，黑灰，深黑，紫金，深褐色，寶石藍(lán)，茶色，炫彩，不銹鋼本色，咖啡色，如用于用電梯裝潢，星級酒店，門窗，支架等

連續(xù)式陶瓷鍍膜生產(chǎn)線

主要用于瓷磚，瓷片，陶瓷夸等離子鍍膜，采用西班牙技術(shù)研制，能實(shí)現(xiàn)烘烤，鍍膜功能的自動流水線

日用陶瓷真空鍍膜機(jī)

此真空鍍膜機(jī)主要用于瓷磚，瓷片，日用陶瓷制品（如餐具，文具）工藝陶瓷（如花瓶，人物，觀賞擺設(shè)）等離子鍍膜，該系列設(shè)備主要配置為陰極電弧蒸發(fā)源，也有配偏壓電源，也有配磁控濺射靶?？梢陨a(chǎn)仿金色，玫瑰金色，銀白色，黑色等膜層。采用貼花紙和涂覆水溶性涂料遮擋技術(shù)可以得到各種彩色花紋圖案

馬賽克真空鍍膜設(shè)備

載量大，產(chǎn)能高，生產(chǎn)成本低，可以鍍仿金色，玫瑰金色，咖啡色，古銅色，藍(lán)色，幻彩色有情，馬賽克鍍鈦后成金色和玫瑰金，鍍鉻后成銀色馬賽克

汽車照明鍍膜設(shè)備

此真空鍍膜設(shè)備功能包括，高壓離子轟擊，在真空室內(nèi)一次完成鍍鋁和加鍍超硬保護(hù)膜（SiO）,超硬保護(hù)膜提高了鋁層的搞氮化能力和何持鋁層長久的高反射率

矩形陰極電弧/磁控濺射復(fù)合型鍍膜設(shè)備

此真空鍍膜設(shè)備彩用矩形平面陰極電弧離子鍍膜技術(shù)和直流磁控濺射，中頻濺射技術(shù)，脈沖偏壓技術(shù)結(jié)合在同一鍍膜機(jī)上，這種模式已成為當(dāng)前五金類離子鍍膜主流技術(shù)

懸浮式卷繞真空鍍膜設(shè)備

應(yīng)用于食品，醫(yī)用，煙包，無紡布，直鍍紙，圣誕拉花，鍍鋁膜，直鍍紙，拉絲膜，鐳射膜等包裝材料，無鍍空線，無鍍空線，無邊線，無皺褶，無鋁渣飛濺，無污染，鍍膜更均勻，薄膜的熱變形更小，冷卻效果好，尤其適合低張力膜CPP,OPP.PRT,PP等

汽車照明鍍膜設(shè)備

這真空鍍膜機(jī)主要功能是高離子轟擊，在真空室內(nèi)一次完成鍍鋁和加鍍硬保護(hù)膜SiO,超硬保護(hù)膜提高了鋁層的搞氮化能力和保持鋁層長久的高反射率

汽車鋼板鋅鎂合金涂層真空設(shè)備

鋅鎂合金鍍層鋼板具有優(yōu)異的防腐蝕性能，結(jié)合力和加工性，此設(shè)備生產(chǎn)的鍍鋅鎂合金鋼板相比普通的鍍鋅鋼板，防腐蝕性能提高了23倍

汽車工業(yè)涂層真空鍍膜設(shè)備

晶茂直倥鍍膜設(shè)備為各汽車供應(yīng)商提供金屬反射鏡和裝飾鍍膜解決方案，確保高質(zhì)量的一配件和高效率的控制生產(chǎn)成本

防眩沐后視鏡真空鍍膜設(shè)備

以防眩鍍膜技術(shù)在玻璃上鍍制無反射透明膜層，可抑制高達(dá)99%的光反射

實(shí)驗(yàn)型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備（電阻/電子束/感應(yīng)/離子源

此真空設(shè)備適用于任意底色的塑料，陶瓷，樹脂工藝品，玻璃等經(jīng)真空鍍膜可皆可鍍成金，銀，七彩，紅，紫，藍(lán)，灰，黑等多種鮮艷顏色，主要用于科研，教學(xué)，電子原件，及涂料生產(chǎn)等行業(yè)的表面鍍膜，

實(shí)驗(yàn)型磁控濺射鍍膜機(jī)（直流/中頻/射頻/離子源）

此設(shè)備是利用真空磁控濺射鍍膜方式，可在硅片，陶瓷，玻璃，石英，III-V族化合物，金屬等材料表面鍍制各種金屬，非金屬，化合物薄膜材料，如AI  ,Au  ,Pt,Cr,Ti,Cu

NiCr  ,TiW  ,w  ,SiO  ,TaN  ,ITO,AZ0等,沉積的薄膜具有良好的均勻姓,附 著力,該設(shè)備具有濺射速率快,基片升溫低,加熱穩(wěn)定等特點(diǎn)

脈沖激光沉積PLD鍍膜設(shè)備

此真空鍍膜設(shè)備運(yùn)用激光鍍膜(PLD)的薄膜沉積技術(shù)，通過脈沖激光快速蒸發(fā)靶材，生成與靶材組成相同的薄膜，借著連續(xù)溶化混雜的靶，制造不同物質(zhì)的多層膜，透過控制脈沖的數(shù)量，可以精密調(diào)節(jié)薄膜厚度至單原子層

真空薄膜科研實(shí)驗(yàn)設(shè)備

用于高校教學(xué),科學(xué)研發(fā)等領(lǐng)域,針對不同成分的薄膜生長,設(shè)計(jì)生產(chǎn)不同的超高真空薄膜設(shè)備,應(yīng)用于半導(dǎo)體,太陽能,微電子產(chǎn)業(yè),發(fā)光產(chǎn)業(yè)及高校,實(shí)驗(yàn)室,研究院等科研實(shí)驗(yàn)

晶茂中頻磁控濺射鍍膜設(shè)備

真空室尺寸

Ф800*H900mm  Ф1100*H1200mm  Ф1350*H1250mm  Ф1600*H1250mm    Ф1900*H1250mm

制膜種類

多功能金屬膜，復(fù)合膜，透明導(dǎo)電膜，增返射膜，電磁屏蔽膜，裝飾膜等

電源類型

直流磁控電源，中頻磁控電源，高壓離子轟擊電源

靶類型

直流磁控靶，中頻孿生靶，平面靶，圓柱靶

真空室結(jié)構(gòu)

立式雙開門，立式單開門

真空系統(tǒng)

機(jī)械泵+羅茨泵+擴(kuò)散泵+維持泵+（或選配：分子泵.深冷系統(tǒng)）

充氣系統(tǒng)

質(zhì)量流量控制儀（1-4路）

極限時間

6*10^-4pa(空載，凈室)

抽氣時間

空載大氣抽至5*10^-3pa小于13分鐘

工作旋件方式

6軸8軸9軸公自轉(zhuǎn)/變頻無級調(diào)速

控制方式

手動+半自動+全自動一體化/觸摸屏+PLC

備注

真空室尺寸可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做

晶茂磁控濺射/真空蒸發(fā)復(fù)合型鍍膜設(shè)備

真空室尺寸

Ф800*1200

Ф1600*1800

時間

68kw

115kw

電源類型

磁控電源，電弧電源，脈沖偏壓電源

靶類型

蒸發(fā)電極，孿生靶，平面矩形靶，圓柱磁控靶

真空室結(jié)構(gòu)

立式雙開門，立式單開門，臥室單開門，后置抽氣系統(tǒng)

真空系統(tǒng)

機(jī)械泵+羅茨泵+擴(kuò)散泵+維持泵+（或選配：分子泵.深冷系統(tǒng)）

極限真空

10^-4pa

抽氣時間

空載大氣抽至5*10^-2pa小于7分鐘

工作旋件方式

公自轉(zhuǎn)/變頻無級調(diào)速。轉(zhuǎn)速2-20r/min

控制方式

手動+半自動+全自動一體化/觸摸屏+PLC

備注

真空室尺寸可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做