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雙腔甩干機(jī)
1. 應(yīng)用范圍:
l?本機(jī)臺(tái)適用於半導(dǎo)體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.
l?設(shè)備為垂直式雙槽體機(jī)臺(tái)，可同Run 50~100片.
l?可對(duì)旋乾步驟進(jìn)行可程式化控制 (Recipe Program).
l?具使用在此設(shè)備已超過(guò)20年以上的應(yīng)用馬達(dá)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì), 高穩(wěn)定度Rotor 設(shè)計(jì), 震動(dòng)值均控制於300 um 以下.
l?高潔淨(jìng)設(shè)計(jì),微塵控制於每次運(yùn)轉(zhuǎn)增加量, 0.3um , 30顆以下.
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2. 操作流程
3. 圖示
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4. 規(guī)格
l?機(jī)臺(tái)內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件
l?直流式馬達(dá): DC無(wú)刷馬達(dá)750W
l?真空負(fù)壓軸封設(shè)計(jì)，隔離槽外污染
l?不銹鋼N2過(guò)濾器 0.003~0.005μm
l?氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率< 200 °C ±10% (加熱棒本體)
l?壓力感測(cè)保護(hù)(加熱器空燒保護(hù))
l?槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開(kāi)關(guān)90°C OFF 70°C ON)
l??Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣
l?不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨
l?單顆螺絲固定轉(zhuǎn)子，並按客戶(hù)需求指定使用訂做
l?轉(zhuǎn)子經(jīng)拋光及電解研磨，並做動(dòng)態(tài)平衡校正
l?可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂(lè)
故障碼功能: 門(mén)鎖警告，氣體不足，傳動(dòng)異常警告
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5. 電控系統(tǒng)
l??控制器操作介面: 7”記憶人機(jī)+ PLC可程式自動(dòng)化控制器(人機(jī) Touch Screen，整合介面) 。
l?軟體功能
??編輯/儲(chǔ)存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/，皆可從操作螢?zāi)簧闲薷摹?/strong>
??儲(chǔ)存能力
記憶模組:參數(shù)記憶,配方設(shè)定。
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6. 廠務(wù)需求
l?電力需求: AC220V單向?40A (2組電源)
l??DI:3/8” PFA Tube, 30~40 psi.
l??N2:1/2” PFA Tube, 30~40 psi.
l??CDA :1/4” Tube, 30~50psi.
l?Drain : 1-1/2” PVC Tube.
l?尺寸:480mm(W)x800mm(L)x1800mm(H)
?重量:205Kgs
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