SPM腐蝕清洗機設(shè)備——華林科納CSE
華林科納CSE濕法處理設(shè)備是國內(nèi)最早致力于集成電路濕法設(shè)備的研制單位，多年來與眾多的集成電路生產(chǎn)企業(yè)密切合作，研制開發(fā)出適合于4吋-8吋的全自動系列濕法處理設(shè)備。
其中SPM自動清洗系統(tǒng)設(shè)備主要用于LED芯片制造過程中硅片表面有機顆粒和部分金屬顆粒污染的自動清洗工藝。
設(shè)?備?名??稱 | 華林科納（江蘇）CSE-SPM腐蝕酸洗機 |
適?用?領(lǐng)??域 | LED外延及芯片制造 |
設(shè) 備 用 途 | 硅晶片化學腐蝕和清洗的設(shè)備 |
基 本 介 紹 | 主要功能：通過對硅片腐蝕、漂洗、等方式進行處理，從而達到一個用戶要求的效果 可處理晶圓材料：硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等 被清洗硅片尺寸:2-8寸（25片/藍） 設(shè)備形式：室內(nèi)放置型 操作形式：自動 |
設(shè)備制造商 | 華林科納（江蘇）半導體設(shè)備有限公司 www.staroverink.com?400-8768-096；18913575037 |
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