?花籃/片盒清洗機(jī)-華林科納CSE
?
完美適應(yīng)當(dāng)前所有型號(hào)的花籃和片盒、傳輸片盒、前端開口片盒
（Foup片盒）的清洗和干燥系統(tǒng)
優(yōu)點(diǎn)
裝載晶圓直徑至200mm的花籃和片盒—或不同晶圓尺寸的花籃和片盒，同時(shí)可裝載晶圓直徑至300mm的前端開口片盒（Foup片盒）
三種設(shè)備尺寸滿足客戶特殊需求
> CleanStep I – 用于4組花籃和片盒
加載和清洗能力：每次4組花籃和片盒
清洗產(chǎn)能：每小時(shí)12組花籃和片盒
> CleanStep II – 用于8組花籃和片盒
加載和清洗能力：每次8組花籃和片盒
清洗產(chǎn)能：每小時(shí)24組花籃和片盒
> CleanStep III – 用于6組前端開口片盒（Foup）
加載和清洗能力：每次6組前端開口片盒（Foup片盒）
清洗產(chǎn)能：每小時(shí)18組前端開口片盒（Foup片盒）
> 適用于晶圓直徑至200mm的花籃和片盒的標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)籠
(Cleanstep I/II)
> 適用于所有片盒一次清洗過程
> 或是同時(shí)4組花籃和片盒，或是12個(gè)花籃(Cleanstep I/II)
> 簡單快捷的對不同尺寸的片盒和花籃進(jìn)行切換
> 旋轉(zhuǎn)籠內(nèi)的可旋轉(zhuǎn)載體方便加載或卸載花籃和片盒
> 通過控制系統(tǒng)對自鎖裝置的檢測，達(dá)到安全加載片盒和花
籃，及其運(yùn)行
特征和優(yōu)點(diǎn)
可應(yīng)用不同化學(xué)品（稀釋劑）來清洗
> 泵傳輸清洗液
> 計(jì)量調(diào)整可通過軟件設(shè)置控制操作
熱水噴淋裝置
> 熱水一般由廠務(wù)供應(yīng) — 標(biāo)準(zhǔn)化
> 或有一個(gè)體積約100升的熱水預(yù)備槽（循環(huán)泵和加熱棒用于熱水預(yù)備槽—選項(xiàng)）
?籠子
> 帶有可變速旋轉(zhuǎn)的控制的高扭矩伺服電機(jī)（按照加載量和設(shè)備配置，最大旋轉(zhuǎn)速度200rpm,）
> 旋轉(zhuǎn)的不銹鋼籠子
> 會(huì)自動(dòng)停止工作（運(yùn)行過程中出現(xiàn)失衡狀態(tài)時(shí)）
熱空氣干燥
> 頂端吹下熱空氣
> 采用根據(jù)設(shè)備待機(jī)和工藝運(yùn)行模式的可調(diào)風(fēng)量的風(fēng)扇裝置
> 不銹鋼架上裝有加熱器，可以溫度控制
> 軟件監(jiān)控溫度
> 帶有反壓控制的高效過濾器
輔助功能和操作控制
> 觸摸屏安裝在前面—標(biāo)準(zhǔn)化
> 也可以通過安裝第二個(gè)觸摸屏在背面進(jìn)行控制—選項(xiàng)
其他特征
> 工藝腔室內(nèi)LED燈光照明
> 可安裝去靜電裝置和電阻率監(jiān)測裝置——選項(xiàng)
> 穩(wěn)定、亞光不銹鋼籠子
> 材料的外殼—可選擇符合FM4910標(biāo)準(zhǔn)
> PP材料的工藝腔室—可選擇符合FM4910標(biāo)準(zhǔn)
> 設(shè)備前面帶有滑動(dòng)門—標(biāo)準(zhǔn)化為手動(dòng)/可選擇自動(dòng)
> 設(shè)備前面的滑動(dòng)門在做維護(hù)時(shí)可完全打開
> 其他種類的花籃和片盒相適應(yīng)的組件—選項(xiàng)
圖形化的界面
> 易于操作和控制
> 10“觸摸屏PLC控制器
> SECSII GEM接口—選項(xiàng)
> 授權(quán)訪問的密碼保護(hù)
> 可以編輯40多個(gè)菜單，每個(gè)菜單可有50步
> 可變量數(shù)據(jù)輸入（時(shí)間、溫度、速度等）
> 設(shè)備背面安裝第二個(gè)觸摸屏—選項(xiàng)
更多的花籃和片盒清洗機(jī)設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)（www.staroverink.com），現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體清洗解決方案。