系統(tǒng)說明

1.可處理氣體:酸性氣體、堿性氣體、其它特殊氣體，負壓范圍為:-500Pa 至 -1500Pa；

2.工藝穩(wěn)定,負壓波動在15%.

3.電壓:380V，三相五線，8KW；

4.采用英國廢氣處理系統(tǒng)工藝，CSE在原工藝上經(jīng)過升級改造，新的系統(tǒng)推出市場后，客戶反映效果較好；

系統(tǒng)工作原理

為酸性/堿性/其它特殊氣體處理系統(tǒng)，主要由以下幾大部分組成：負壓腔、正壓腔、初級錐形噴淋塔、三級噴淋凈化塔、高壓射流器、抽風孔、負壓動力泵、循環(huán)噴淋泵、電控系統(tǒng);

廢氣經(jīng)過一級錐形噴淋塔進入負壓腔內(nèi)（每個噴淋塔中間為傘裝型噴頭，對廢氣層形成水封，瞬間中和廢氣）、通過射流器產(chǎn)生負壓把負壓腔內(nèi)的廢氣抽入正壓腔內(nèi)中和（在負壓腔與正壓腔之間設有三級噴淋凈化塔，三級噴淋凈化塔內(nèi)配有PP填料，配有噴嘴，再次充分噴淋中和廢氣）、處理完的氣通過正壓腔上的排氣口排出。

成功案例

河北普興電子有限公司
上海新傲半導體有限公司
上海硅酸鹽研究所中試基地
蘇州納維科技有限公司

設備制造商

華林科納（江蘇）半導體設備有限公司 www.staroverink.com?400-8768-096 ；18913575037