多晶硅鑄錠硅片清洗設(shè)備，包括裝置主體、升降機構(gòu)(2)和清洗機構(gòu)(9)，其特征在于：所述裝置主體包括加工箱體(1)、拋光軸(3)、驅(qū)動機(4)、轉(zhuǎn)軸(5)、內(nèi)箱(6)、集水槽(7)、泵體(8)和支腿(10)，所述支腿(10)設(shè)置在加工箱體(1)下端面，所述驅(qū)動機(4)設(shè)置在加工箱體(1)頂端面中間位置，所述轉(zhuǎn)軸(5)轉(zhuǎn)動連接在加工箱體(1)內(nèi)部，且與驅(qū)動機(4)的輸出端傳動連接，所述拋光軸(3)設(shè)置在轉(zhuǎn)軸(5)上，所述集水槽(7)設(shè)置在加工箱體(1)

內(nèi)部底端面，所述內(nèi)箱(6)位于集水槽(7)上方；

所述升降機構(gòu)(2)設(shè)置在加工箱體(1)內(nèi)部上側(cè)，所述升降機構(gòu)(2)包括電機一(21)、滑

輪(22)、傳動軸(23)和繩索(24)，所述傳動軸(23)轉(zhuǎn)動連接在加工箱體(1)內(nèi)部靠上部位，

所述滑輪(22)設(shè)有兩個，兩個滑輪(22)對稱轉(zhuǎn)動連接在傳動軸(23)上，所述滑輪(22)通過

繩索(24)與內(nèi)箱(6)固定連接，所述傳動軸(23)與電機一(21)的輸出端傳動連接；所述清洗機構(gòu)(9)包括輔助清潔組件(91)和電機二(92)，所述電機二(92)設(shè)置在加工箱體(1)底端面，所述輔助清潔組件(91)設(shè)有兩個，兩個所述輔助清潔組件(91)對稱設(shè)置在加工箱體(1)內(nèi)部，所述輔助清潔組件(91)包括支架(911)、高壓噴頭(912)、滑塊(913)、齒條(914)、齒輪(915)和安裝軸(916)，所述齒條(914)通過滑塊(913)滑動連接在加工箱體(1)內(nèi)部，所述齒輪(915)通過安裝軸(916)轉(zhuǎn)動連接在加工箱體(1)內(nèi)部，所述齒輪(915)的齒槽與齒條(914)的齒槽相嚙合，所述高壓噴頭(912)銅鼓支架(911)與齒條(914)固定連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠硅片清洗設(shè)備，其特征在于：所述支腿(10)設(shè)

有四個，四個所述支腿(10)分別設(shè)置在加工箱體(1)下端面四個棱角處。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠硅片清洗設(shè)備，其特征在于：所述加工箱體

(1)前端面鉸接有箱門(11)，箱門(11)中間位置設(shè)置有透明觀察窗(13)，箱門(11)前端面上側(cè)設(shè)置有把手(12)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠硅片清洗設(shè)備，其特征在于：所述泵體(8)通

過軟管與高壓噴頭(912)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠硅片清洗設(shè)備，其特征在于：所述內(nèi)箱(6)底

端面開設(shè)有漏孔(a)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠硅片清洗設(shè)備，其特征在于：所述集水槽(7)

內(nèi)部設(shè)置有過濾網(wǎng)，且過濾網(wǎng)為雙層結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠硅片清洗設(shè)備，其特征在于：兩個所述安裝軸

(916)之間通過同步帶傳動連接，且安裝軸(916)與電機二(92)的輸出端傳動連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠硅片清洗設(shè)備，其特征在于：所述拋光軸(3)

設(shè)有若干個，若干個所述拋光軸(3)呈環(huán)形等距排布于轉(zhuǎn)軸(5)環(huán)形側(cè)面。

?

圖1

?

圖2

?

圖3

?

圖4

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明的外部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明中升降機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明中升清洗機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標記中：1.加工箱體；2.升降機構(gòu)；3.拋光軸；4.驅(qū)動機；5.轉(zhuǎn)軸；6.內(nèi)箱；7.集水槽；8.泵體；9.清洗機構(gòu)；10.支腿；11.箱門；12.把手；13.透明觀察窗；21.電機一：22.滑輪；23.傳動軸；24.繩索；91.輔助清潔組件；92.電機二；911.支架；912.高壓噴頭；913.滑塊；914.齒條；915.齒輪；916.安裝軸。

多晶硅鑄錠硅片清洗設(shè)備，包括裝置主體、升降機構(gòu)2和清洗機構(gòu)9，裝置主體包括加工箱體1、拋光軸3、驅(qū)動機4、轉(zhuǎn)軸5、內(nèi)箱6、集水槽7、泵體8和支腿10，支腿10設(shè)置在加工箱體1下端面，驅(qū)動機4設(shè)置在加工箱體1頂端面中間位置，轉(zhuǎn)軸5轉(zhuǎn)動連接在加工箱體1內(nèi)部，且與驅(qū)動機4的輸出端傳動連接，拋光軸3設(shè)置在轉(zhuǎn)軸5上，集水槽7設(shè)置在加工箱體1內(nèi)部底端面，內(nèi)箱6位于集水槽7上方。

升降機構(gòu)2設(shè)置在加工箱體1內(nèi)部上側(cè)，升降機構(gòu)2包括電機一21、滑輪22、傳動軸23和繩索24，傳動軸23轉(zhuǎn)動連接在加工箱體1內(nèi)部靠上部位，滑輪22設(shè)有兩個，兩個滑輪22對稱轉(zhuǎn)動連接在傳動軸23上，滑輪22通過繩索24與內(nèi)箱6固定連接，傳動軸23與電機一21的輸出端傳動連接。

清洗機構(gòu)9包括輔助清潔組件91和電機二92，電機二92設(shè)置在加工箱體1底端面，輔助清潔組件91設(shè)有兩個，兩個輔助清潔組件91對稱設(shè)置在加工箱體1內(nèi)部，輔助清潔組件91包括支架911、高壓噴頭912、滑塊913、齒條914、齒輪915和安裝軸916，齒條914通過滑塊913滑動連接在加工箱體1內(nèi)部，齒輪915通過安裝軸916轉(zhuǎn)動連接在加工箱體1內(nèi)部，齒輪915的齒槽與齒條914的齒槽相嚙合，高壓噴頭912銅鼓支架911與齒條914固定連接，本發(fā)明結(jié)構(gòu)優(yōu)良，設(shè)計合理，操作簡便，消除拋光死角，拋光清洗二合一，具有廣泛地應(yīng)用前景，創(chuàng)造性強。

支腿10設(shè)有四個，四個支腿10分別設(shè)置在加工箱體1下端面四個棱角處，加工箱體1前端面鉸接有箱門11，箱門11中間位置設(shè)置有透明觀察窗13，箱門11前端面上側(cè)設(shè)置有把手12，泵體8通過軟管與高壓噴頭912連接，內(nèi)箱6底端面開設(shè)有漏孔a，集水槽7內(nèi)部設(shè)置有過濾網(wǎng)，且過濾網(wǎng)為雙層結(jié)構(gòu)，兩個安裝軸916之間通過同步帶傳動連接，且安裝軸916與電機二92的輸出端傳動連接，拋光軸3設(shè)有若干個，若干個拋光軸3呈環(huán)形等距排布于轉(zhuǎn)軸5環(huán)形側(cè)面。

本發(fā)明在工作時：將硅片物料投入內(nèi)箱6，運行電機一21，電機一21的輸出端轉(zhuǎn)動帶動傳動軸23轉(zhuǎn)動，傳動軸23帶動滑輪22轉(zhuǎn)動，滑輪22通過繩索24拉動內(nèi)箱6向上移動，使拋光軸3進入內(nèi)箱6內(nèi)部，運行驅(qū)動機4，驅(qū)動機4的輸出端轉(zhuǎn)動帶動轉(zhuǎn)軸5轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)軸5帶動拋光軸3轉(zhuǎn)動，拋光軸3對硅片物料進行拋光操作，拋光完畢后，反向運行電機一21，同理，使內(nèi)箱6在加工箱體1內(nèi)向下移動，并與集水槽7相接觸，運行電機二92，電機二92的輸出端轉(zhuǎn)動帶動安裝軸916轉(zhuǎn)動，安裝軸916帶動齒輪915轉(zhuǎn)動，齒輪915帶動齒條914移動，兩個齒條914做相向運動，帶動噴頭向內(nèi)向移動至內(nèi)箱6上側(cè)，泵體8將水輸送至高壓噴頭912，高壓噴頭912對硅片物料進行清洗操作，多余的水經(jīng)過漏孔a向下流動，并過濾后，進入集水槽7底部，以供循環(huán)利用，節(jié)約水資源，從而解決了傳統(tǒng)的硅片加工，清洗設(shè)備和拋光設(shè)備屬于兩種設(shè)備，先后加工，延長了加工的時間，設(shè)備間的配合度較低，且拋光過程中，加工箱體1位置固定，拋光會留有死角，導(dǎo)致拋光不徹底的問題。

以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理和主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本發(fā)明不限于上述示范性實施例的細節(jié)，而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現(xiàn)本發(fā)明。因此，無論從哪一點來看，均應(yīng)將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本發(fā)明內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標記視為限制所涉及的權(quán)利要求。

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