LED濕法清洗設(shè)備
主要由供液機(jī)柜、供液源、輸送單元、輸送管路、電氣控制、排風(fēng)裝置、漏液檢測等部分組成。
供液機(jī)柜:
供液機(jī)柜通常由耐腐蝕的PP（聚丙烯）材料焊接而成，機(jī)柜上設(shè)有進(jìn)風(fēng)口及排風(fēng)裝置。排風(fēng)裝置除將酸、堿腐蝕氣體及時排出供液機(jī)柜外，還可以降低機(jī)柜內(nèi)揮發(fā)出的有機(jī)溶劑濃度，避免發(fā)生燃燒和爆炸。同時排風(fēng)口裝有風(fēng)壓檢測傳感器，當(dāng)廠務(wù)端排風(fēng)出現(xiàn)故障時，發(fā)出警報，以利維護(hù)人員及時處理。在供液機(jī)柜內(nèi)一般設(shè)計有滾輪機(jī)構(gòu)，方便更換供液桶。機(jī)柜內(nèi)設(shè)有水槍，用于腐蝕液的沖洗。腐蝕區(qū)與供液泵、控制系統(tǒng)之間物理隔離，以避免電子元器件及金屬零件等被腐蝕。
供液源:
LED工藝線上供液源采用容積為20L的供液桶，供液桶為標(biāo)準(zhǔn)尺寸的耐腐蝕塑料桶，通常一種化學(xué)液配備兩只供液桶，兩只供液桶一用一備，交替進(jìn)行工作，實(shí)現(xiàn)不間斷供液。
輸送系統(tǒng):
化學(xué)液輸送方式分泵浦輸送和惰性氣體輸送。泵浦輸送是利用泵的壓力做動力來輸送化學(xué)液，其特點(diǎn)是：化學(xué)液可進(jìn)行過濾處理，輸送產(chǎn)生脈動較大，適用于長距離輸送。惰性氣體輸送是利用氣體的壓力做動力來輸送化學(xué)液。惰性氣體一般采用高純氮?dú)狻Ｔ摲绞降奶攸c(diǎn)是：不易和化學(xué)液反應(yīng)，輸出流量小，需要壓力操作容器，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，易產(chǎn)生故障。CDS較多采用泵浦輸送方式。輸送系統(tǒng)包括供液泵、過濾器、流量計等。由于氣動隔膜泵或氣動風(fēng)囊泵采用壓縮空氣為動力源，它的剪切力低、流量大、楊程高、工作中不產(chǎn)生火花、不產(chǎn)生熱量。因此作為供液泵，用來輸送各種腐蝕性液體，帶顆粒的液體，高黏度、易揮發(fā)、易燃、劇毒的液體。根據(jù)輸送的化學(xué)液特性的不同，可選用PP、PVDF、PTFE、不銹鋼等不同材質(zhì)的氣動泵。為減小氣動泵引起的化學(xué)液脈動，可加入泵緩沖器。對化學(xué)液有較高潔凈度要求時，可在CDS中加入循環(huán)系統(tǒng)和過濾器，根據(jù)化學(xué)液的特性及工藝要求，選擇相應(yīng)材質(zhì)的過濾器。
輸送管道:
輸送管道包括閥門及管件。由于PFA材料的雜質(zhì)析出量極少和優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性，且可以通過焊接或擴(kuò)管實(shí)現(xiàn)連接。因此，CDS中較多采用PFA材質(zhì)的氣動隔膜閥和管件。管件的選用，主要考慮防腐性和輸送安全性問題，供液管道一般采用雙套管輸送，鋪設(shè)管道時應(yīng)使其有一定傾斜角度，以利漏液檢查和偵測。當(dāng)化學(xué)液在內(nèi)管道輸送，如果內(nèi)管泄漏，化學(xué)液就會順著內(nèi)外管之間的空隙流到供液柜，泄漏檢測傳感器測到后發(fā)出報警以便及時處理，防止安全事故的發(fā)生。酸、堿化學(xué)液的供液管道內(nèi)管為PFA材質(zhì)，外管為透明PVC材料或PFA材料。有機(jī)溶劑等閃點(diǎn)低、易燃、易爆品的供液管道，內(nèi)管為SUS316材質(zhì)，外管為PFA材料。為了增加系統(tǒng)的可靠性，應(yīng)減少管道的長度和管接頭的數(shù)量。
電氣控制系統(tǒng):
CDS由PLC進(jìn)行控制。運(yùn)行方式分自動運(yùn)行和手動運(yùn)行兩種模式，自動模式下，當(dāng)CDS接收到濕法設(shè)備發(fā)出的供液請求信號后，自動運(yùn)行供液程序，完成配、補(bǔ)液操作。手動模式下可進(jìn)行單步的手動操作。系統(tǒng)具有漏液偵測應(yīng)急處理、系統(tǒng)故障自診斷、條形碼識別更換供液桶和化學(xué)液用量統(tǒng)計功能。對于易燃化學(xué)品，應(yīng)配備自動滅火系統(tǒng)。
CDS工作原理：
CDS供液有單桶單泵供液、雙桶單泵供液和雙桶雙泵供液３種方式。單桶單泵供液系統(tǒng)最簡單，但可靠性較差，間斷供液，換液頻繁。其余兩種供液桶采用一用一備工作方式，當(dāng)一個供液桶打空后，系統(tǒng)自動切換到另一供液桶，實(shí)現(xiàn)不間斷供液。有較高要求時，在系統(tǒng)中可加裝過濾器和自循環(huán)管路，使原液達(dá)到過濾和攪拌目的。流量傳感器的作用是控制供液量，提高供液精度。
CDS精確配、補(bǔ)液實(shí)現(xiàn)方法:
兩種或兩種以上溶液按嚴(yán)格配比組成的混合液，要求CDS實(shí)現(xiàn)各組份的精確添加，這是保證產(chǎn)品質(zhì)量的前提。同時，在產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，有些化學(xué)液消耗過大，需要少量的補(bǔ)充。如何實(shí)現(xiàn)精確配、補(bǔ)液，各設(shè)備制造商采用的方法也不盡相同，圖３是一種常用的配、補(bǔ)液原理示意圖。
這種方式是為每種化學(xué)液在濕法清洗設(shè)備主機(jī)上配置計量槽，計量槽上設(shè)有液位傳感器，通過檢測計量槽液位，控制閥門的關(guān)閉，以實(shí)現(xiàn)配補(bǔ)液。傳感器的測量精度，計量桶橫截面尺寸，閥門關(guān)閉反應(yīng)速度輸送管道內(nèi)殘液的多少等均是影響配補(bǔ)液精度的重要因素。這種方式的特點(diǎn)是系統(tǒng)組成較復(fù)雜，配補(bǔ)液精度低，不適用于任意比例配液要求。為此，我們采用以下方案進(jìn)行控制，見圖４原理示意圖。
這種方式用流量傳感器取代計量桶，流量計具有批量處理和在線校正功能，供液量在流量計量程范圍內(nèi)可任意設(shè)置，當(dāng)供液達(dá)到設(shè)定值，PLC接到流量計反饋信號后，自動關(guān)閉閥門。閥門關(guān)閉速度和輸送管道內(nèi)殘液對供液精度的影響可通過在流量計線校正功能予與消除。該方式特點(diǎn)：配補(bǔ)液精度高，結(jié)構(gòu)簡單，可實(shí)現(xiàn)化學(xué)液任意配比要求。
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